可安装探针

     1172系列，CP1072系列

可测试基板尺寸

     标准规格：50W × 50H〜610W × 510H mm, 厚度1.0〜3.2 mm 气动式基板夹具(选件):   50W × 70H〜610W × 510H mm, 厚度0.6〜6.0 mm

最大可测区域

     604W × 504H mm

综合定位精度

     □25μm (注: 根据检查条件有所限制)

测点最小间距

     50μm (使用探针CP1072-01时, L-R手臂间距)

测量范围

     直流恒流导通测量： 400.0 μΩ〜400.0 kΩ
     直流恒流电阻测量： 40.00 μΩ〜400.0   kΩ
     直流恒压电阻测量： 4.000 Ω〜40.00   MΩ
     绝缘电阻测量： 1.000 kΩ〜100.0 GΩ
     交流恒压电容测量： 100.0 fF〜10.00   μF
     漏电流测量： 1.000 μA〜10.00 mA
     高压电阻测量： 1.000 kΩ〜100.0 GΩ
     电容绝缘测量： 1.000 kΩ〜10.00 MΩ
     开路测量： 4.000 Ω〜4.000 MΩ
     短路测量： 400.0 mΩ〜40.00 kΩ

判定范围

     −99.9%〜＋999.9%, 或绝对值

测量时间

     Max. 0.015秒/步 (0.15mm移动・4手臂同时接触,焊盘 电容测试)

电源

     AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V单相 (订购时指定) 50/60 Hz, 3 kVA

体积及重量

     1500W × 1950H × 800D mm, 1000 kg